薄膜厚度測量儀

PROFILER 140E采用MOCON專利性的電容傳感器技術和計算機控制系統，能實現下面功能：

 

實際的統計過程控制功能包括一個在多次測量基礎上的X平均值和R的圖線顯示。每個測量（或樣品）用一根單獨的豎線表示，這根線的上下頂點代表著在這個樣品上測量得到的*大或*小讀數。平均厚度是用許多點連接成的一根線來表示的，同時相關的匯總數據顯示在屏幕下方。測試數據可以用表格 或/和 圖線的方式來顯示。

 

兩次厚度測量（例如：基材厚度和涂層后的材料厚度）后可以自動計算涂層厚度，屏幕的上半部分顯示的圖線是涂層后的和未涂層的基材厚度，屏幕下半部分顯示的圖線是涂層的厚度。通過使用另一個更高解析度的標尺來更清晰地觀察涂層情況。

 

PROFILER 140E 利用電容方式精確地測量膜的厚度。傳感元件包含兩個狹窄的金屬片,當被測量薄膜作為絕緣體將這2個金屬片分開時,就形成一個電容。隨著膜厚的變化，電容值隨之變化，傳感器可以將電容值變化轉化數字信號，通過計算機顯示出實時的屏幕曲線，并有多種時間記錄和記錄保存功能。

 

PROFILER的電容傳感器式設計可以檢測出厚度的分布偏差，而這是傳統測厚方法無法達到的。PROFILER利用傳統的標準方法，如單位面積的重量或者千分尺來測定薄膜上某個單獨點，PROFILER可以參考這個點，來精確地給出整個樣品從邊到邊的厚度情況。PROFILER將這些校準存儲在穩定內存中，方便操作者調用。

 

測量方法：   專利性的非核的電容傳感器

厚度范圍：    0.25~100mils (6.4~2540µm)

厚度分辨率：0.001mil (0.025µm)或測量值的0.01%，取大者

線性分辨率：*低為0.2mm，取決于設置的速度。

可重復性：0.01mil (0.25µm)或測量值的0.5%, 取大者

測量精度：0.5%

新傳感器的溫度穩定性：十倍優于傳統和同類競爭產品.

可存儲校準的數量: 約120個/360K 存儲碟上

薄膜輸送速度：60和300 cm/min